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日立、0.05mm角の粉末ICチップ(ミューチップ)開発」記事へのコメント

  • レチクルを使わずに直接EBで描画するってこと? EBで描画したクロムマスクの値段を考えると、こりゃ逆にコスト上がらないかな?
    • マスクをぜんぜん使わないというわけではなく、最上層のアルミ蒸着(?)の1層だけ直接描画ってことですよね???

      普通にマスクで作った後、レーザートリミングで配線を焼ききってIDを入れていくのと比べてどっちが得なのか気になります。

      • by Anonymous Coward on 2007年02月15日 18時28分 (#1110544)
        集積度の高いデバイスはレーザー使うと溶融して飛び散る屑の問題なども無視できません.
        これだけ小さいものをステージを動かしながらレーザー照射するのも手間ですから
        EB直描の方がメリットは大きいでしょう.
        親コメント

弘法筆を選ばず、アレゲはキーボードを選ぶ -- アレゲ研究家

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