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日々是ハック也 -- あるハードコアバイナリアン
この場合鋳型の水晶は..... (スコア:1)
普通鋳物だと、鋳型は鋳物を取り出すときに壊してしまいますが、微細加工された水晶を毎回壊していたのでは採算面で厳しいような....(素人考えですが)。
鋳型から鋳物が簡単に分離できるというのがたぶん今回の研究の一つのミソではないかとも思うのですが、実際のところどうなんでしょう?
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:2, 参考になる)
溝やくぼみを掘り込んだ平面版ではないかと思います。
#レーザーの焦点を決めたり、スキャンさせるには、基板も光透過性の型も
#平面以外では難しいとおもうので。
#エキシマレーザーとはいえ、焦点でないと単純に跳ね返されて
#終わる気もしますし、全体に薄く均一に照射するのでは融解するほどの
#エネルギーは与えられないでしょうし・・・。
押し付けてレーザー照射、融解したシリコンは固まる際に石英に固着せず、
ということなので、そのまま剥がして再度使えるような気がします。
#ただし、非常に局所的な現象とはいえ、それだけの高温を作り出して、
#接触している型自体にダメージがないとは思わないし、リリース文にも
#「型にダメージがない」とは明確に書いてませんね・・・。
#型の加工の方が時間かかってて高いってのは微細加工分野では
#結構よくあることだしなぁ(苦笑)。
あと、トランジスタの基板を作るには、結晶をそろえて切り出した
ものでないとだめで、溶融させて冷却したものが非晶質なのか、
そうでないのかがわからないと使いどころも決めにくいですね。
#配線のアルミか、不純物ドープの前にシリコン基板表面の形状を
#加工するのなら、非常に使い出があるように思います。
#非晶質になるとすれば、シリコン基板には使えないでしょう。
まったくの夢想ですが、配線のための素材を薄く絶縁層上に形成して、
全体を過熱して融解させた後で型を押し付けると、全体に均一だった
配線素材を型のくぼみにだけ集めることができたりはしないかな、
なんてことを考えてしまいます。
#多少は絶縁層上に残っても、ケミカルエッチを続けて行えば、
#溝の部分より薄くなっているはずの残余分を除去するだけでいいので、
#エッチング時間と薬剤使用量を飛躍的に減らせたりしないかな、
#とか考えました。
わたし自身、かなり近い分野を学生時代にかじったので関心が強いのでしょうけど、
使いどころによっては、非常に面白い技術ですね。
ただ、半導体産業では、スキャンするものは加工に時間がかかる
(マスクを作らず電子ビームでICを作る技術はすでに一般的、
ただし時間の問題でコスト高い)ということがよく把握されているので、
今はあまり注目されないのではないかと思います。
フォトマスクが数百、数千回の使用に耐えるのは、露光という非接触かつ
露光一回でマスクのパターンをすべて転写できる方式を使っているため
なんですよね。
物理的接触と、おそらく相当に高精度な機器、および型と加工物の
位置制御が必要なこの手法では、何千回くらいの耐久性があって、
位置決めにどのくらいの時間がかかるんでしょうかね?
[princeton.edu]
---- redbrick
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:1)
#投稿前のプレビューでは、きちんと意図した部分にだけ
#リンクが貼れてたのに・・・(泣)。
---- redbrick
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:0)
どうせ EUC 混じりの処理で起きてるのだろーといういいかげんな推測ですが、気のせいかもしれません。
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:1)
written by こうふう
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:1)
以前に言われていた事例だと、「テキスト形式(HTML OK!)」だったと
思うのですが、わたしはそれは使ってないのですよね。
ちなみに、ライトモードでコメントIDが見えるようになりましたね。
#非常にありがたいです。
---- redbrick
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:0)
投稿ボタンでまたコメント送信するのがイタイよね。
モデレータの人えらいっすね。
とても読む気にならなかったです。。。
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:0)
Re:この場合鋳型の水晶は..... (スコア:1)
....という理解でよろしいのでしょうか.
ああ.そうではないのか.冷たい型を押し付けて熱するんだもんな.
パニーニの焼き型に近いのかなぁ.どうも図がないと解らんな.