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LSIを鋳物製造」記事へのコメント

  • 露光の場合だと基本的にはぶち抜きしかできないわけですけど,鋳型なわけですから,どんな傾斜や曲面も作れるわけですね。こんなのが自由に作れるとしたら,マイクロマシン分野の人には朗報かもしれないですね。

    #型はどうやって作るんだ!?
    • by n10 (8493) on 2002年06月22日 14時55分 (#111687)
      自己フォローです。

      ぶち抜き,といったのはあくまでレジストのことで,ウェハをぶち抜くわけではないです(^^;。

      もちろんぶち抜かないことも可能なんですけどね。。。これから先はちょっと,ごにょごにょごにょ。
      親コメント

あつくて寝られない時はhackしろ! 386BSD(98)はそうやってつくられましたよ? -- あるハッカー

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