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LSIを鋳物製造」記事へのコメント

  • 露光の場合だと基本的にはぶち抜きしかできないわけですけど,鋳型なわけですから,どんな傾斜や曲面も作れるわけですね。こんなのが自由に作れるとしたら,マイクロマシン分野の人には朗報かもしれないですね。

    #型はどうやって作るんだ!?
    • エッチングで作る。

      モノは同じSiO2だから作れない事はない。

      # 鋳型が壊れていると不良品を量産する事になる…
       「この位置のは必ず不良品になるから後工程とばす」なんてことしたりして[笑]
      --
      notice : I ignore an anonymous contribution.
      • >モノは同じSiO2だから

        ところで、なまじ同じモノなだけに、
        型とターゲットの化学的親和性が高すぎて
        焼きつきみたいな状態になりやすかったりは
        しないんだろうか?と思ってしまいました。

        温度が高いと、一方が他方を溶融しちゃうわけで、
        しかも同じモノなら全率固溶どころのさわぎじゃないわけで…

        同じSiO2とはいえ両者の相
        • >>モノは同じSiO2だから

          えーと、SiO2ってガラスの主成分で、シリコンは入ってますが
          酸化物ですので、今回加工してるシリコン基板(Si結晶)とは
          違うものだと思うです。
          #そりゃ、微小なレベルでの原子交換はあるかもしれないけど。
          #ちなみに、加熱してもSiO2になって一緒に混じらないのは、
          #加熱時に周囲に酸素原子が充分にないからではないかなぁ。

          焦点を絞るための光学系(顕微鏡とか)の部品も
          SiO2中心(石英が主成分のガラス)だと思いますので、SiO2が
          エキシマレーザーで加熱されるというのは、原理的におきない
          ように思います。

          >ところで、なまじ同じモノなだけに、
          >型とターゲットの化学的親和性が高すぎて
          >焼きつきみたいな状態になりやすかったりは
          >しないんだろうか?と思ってしまいました。

          リリース文では、「固着しない」って事になってるようですね。
          #わたしの想像では、加熱を繰り返すと、だんだん表面が
          #高温の溶融物にアタックされて、原子交換が起きて、
          #平坦度が薄れて荒れてくる気がするけど。
          --
          ---- redbrick
          親コメント

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