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ISAS、太陽電池用基板の新たな品質評価法を開発。」記事へのコメント

  • by Anonymous Coward
    通常の製造ラインで使えるような代物なんでしょうか。なんか怖いって印象があるのですが‥‥‥。
    # 文系なのでAC
    • Re:弗酸って (スコア:2, 参考になる)

      by Anonymous Coward on 2007年04月07日 10時31分 (#1138821)
      シリコンを電子材料として使うところでは、絶対に必要です。
      太陽電池もそうですし、半導体産業では必ず使ってます。

      シリコンは大気中に置いておくと表面がうっすらと酸化します。
      それはわずか数nm程度の厚さですが、シリコンの酸化物といえば
      つまりガラス(石英)なわけで、そんな絶縁物は除去してしまわないと
      電気がうまく流れてくれません。

      それを除去するには、ガラスをも溶かすフッ酸しかありません。
      シリコンの表面の汚れを除去するには、わざと表面を酸化して
      それを除去するなんてことも行います。

      半導体産業ではもっと怖い化学物質もいっぱい使ってますよ。
      親コメント
      • by Anonymous Coward
        石英(無色透明な結晶を水晶とも言う)はガラスでしたっけ?

        # 水晶も弗酸にしか溶けないというのであれば、目くじらたてることもないか
        # なのでAC
        • by tiamo (31312) on 2007年04月07日 15時16分 (#1138922)
          ケイ酸塩のガラスが一般に言われるガラスだが、石英でできたものも普通にガラスと呼ばれる。
          また、どんなものでもガラス状態になれば○○ガラスと言うようだ。
          親コメント
        • Re:弗酸って (スコア:1, 参考になる)

          by Anonymous Coward on 2007年04月08日 16時39分 (#1139260)
          石英とかガラスとか水晶の違いはいろいろあるけど、その違いは基本的には結晶構造の違いに由来するの。結晶構造が違うと溶け方も違ってくるけど、溶けるか溶けないかという点では皆同じなの。
          だからそれを溶かす水晶のエッチングのプロセスはフッ酸メインの混酸になります。

          そういう点では水晶もシリコン酸化膜も根っこは同じ。
          ただ酸化してないバルクのシリコンはフッ酸には安定だからシリコンエッチするときは酸化→エッチングというプロセスになるので元ACさんの言うように酸化剤とフッ酸の混酸になるのよ。

          水晶は他にはアルカリにも溶けますけど通常の条件だと非常に溶けにくい(パイレックスビーカーにアルカリ入れても溶けないでしょ?)ので加圧加熱条件下で用いることがあります。水熱合成法とかでぐぐると見つかるかも。

          レアかもしれない水晶業界のACが釣られました。
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あと、僕は馬鹿なことをするのは嫌いですよ (わざとやるとき以外は)。-- Larry Wall

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