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CVD炉がどういうものか想像しづらい。廃棄に数億円掛かるらしいので相当大掛かりな設備ではあるんだろうけど
大学の研究室の実験レベルであれば、安全な原料の場合、長さ1メートルぐらいの細めの石英管と、それを巻くヒーターと電源、原料ガスや液体原料だったら蒸気を石英管に導く配管とバルブがあれば作れるので、そんなに高くないよ。石英管の中に基板置いて、原料ガスや蒸気を送り込んで、熱とかで化学反応させて、基板の上に膜とか塊とか、なんかができればCVD(科学気相成長)。危険なガス、毒物などを原料にするとなると、安全対策や除害に、かなりのお金がかかるけどね。# Atomic Layer Deposition 装置が欲しい…
CVDといっても種々あるのですがその名もずばり生成する膜の主原料が気化した状態で供給されるのが共通点ですね。Chemical Vapor Deposition(化学気相成長)
炉といってるのでレーザCVDや光CVD以外だとは思いますけど‥
門外漢だから多分に想像だけど、CVDの原理から言って温度制御に精密性が必要なのと原料ガス（フッ化物とか）を直接炉内に流す必要性から気密性とか耐食性を必要とするから大掛かりになるんじゃなかろうか。
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私は悩みをリストアップし始めたが、そのあまりの長さにいやけがさし、何も考えないことにした。-- Robert C. Pike
裁判内容はともかく (スコア:0)
CVD炉がどういうものか想像しづらい。
廃棄に数億円掛かるらしいので相当大掛かりな設備ではあるんだろうけど
Re:裁判内容はともかく (スコア:1)
大学の研究室の実験レベルであれば、安全な原料の場合、
長さ1メートルぐらいの細めの石英管と、それを巻くヒーターと電源、
原料ガスや液体原料だったら蒸気を石英管に導く配管とバルブがあれば
作れるので、そんなに高くないよ。
石英管の中に基板置いて、原料ガスや蒸気を送り込んで、熱とかで化学反応させて、
基板の上に膜とか塊とか、なんかができればCVD(科学気相成長)。
危険なガス、毒物などを原料にするとなると、安全対策や除害に、
かなりのお金がかかるけどね。
# Atomic Layer Deposition 装置が欲しい…
Re: (スコア:0)
CVDといっても種々あるのですが
その名もずばり生成する膜の主原料が気化した状態で供給されるのが共通点ですね。
Chemical Vapor Deposition(化学気相成長)
炉といってるのでレーザCVDや光CVD以外だとは思いますけど‥
Re: (スコア:0)
門外漢だから多分に想像だけど、CVDの原理から言って温度制御に精密性が必要なのと
原料ガス（フッ化物とか）を直接炉内に流す必要性から気密性とか耐食性を必要とするから
大掛かりになるんじゃなかろうか。