パスワードを忘れた? アカウント作成
この議論は賞味期限が切れたので、アーカイブ化されています。 新たにコメントを付けることはできません。

フェローテック、司法判断への懸念により韓国での半導体関連事業から撤退。」記事へのコメント

  • CVD炉がどういうものか想像しづらい。
    廃棄に数億円掛かるらしいので相当大掛かりな設備ではあるんだろうけど

    • by Anonymous Coward on 2019年04月19日 19時39分 (#3602306)

      大学の研究室の実験レベルであれば、安全な原料の場合、
      長さ1メートルぐらいの細めの石英管と、それを巻くヒーターと電源、
      原料ガスや液体原料だったら蒸気を石英管に導く配管とバルブがあれば
      作れるので、そんなに高くないよ。
      石英管の中に基板置いて、原料ガスや蒸気を送り込んで、熱とかで化学反応させて、
      基板の上に膜とか塊とか、なんかができればCVD(科学気相成長)。
      危険なガス、毒物などを原料にするとなると、安全対策や除害に、
      かなりのお金がかかるけどね。
      # Atomic Layer Deposition 装置が欲しい…

      親コメント

皆さんもソースを読むときに、行と行の間を読むような気持ちで見てほしい -- あるハッカー

処理中...