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>シリコンナノ結晶表面表面で何かが起きて反応効率が変わるといえば触媒ですけど自動的に触媒毒とか汚染とかおきて反応進まなくなるのをどうするかが応用の障害になるのは自明なのですけど、この件でも同じようなことはまあ、起こるだろうし、それが実用化の鍵となることでしょうね
リリース見ればわかる通り、重水素or三重水素を集めるのはリップサービスで、本来の目的は半導体プロセスの改良ですよ。半導体プロセスの中で、MOSチャネルの高品質化のために水素アニールという工程があるのですが、そこで今回の手法で重水素を選択的に使えればもっと安く高品質になりますよと。何がうれしいかというと、通常の水素で行うよりトランジスタの長期信頼性が改善したり、ばらつきが減ったり、1/fノイズが減ったりします。
ウエハサイズでも実現できれば、普通に実用化が見えるんじゃないですかね。
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開いた括弧は必ず閉じる -- あるプログラマー
要は触媒だから・・・あとは分かるな (スコア:0)
>シリコンナノ結晶表面
表面で何かが起きて反応効率が変わるといえば触媒ですけど
自動的に触媒毒とか汚染とかおきて反応進まなくなるのをどうするかが
応用の障害になるのは自明なのですけど、この件でも同じようなことは
まあ、起こるだろうし、それが実用化の鍵となることでしょう
ね
Re:要は触媒だから・・・あとは分かるな (スコア:1)
リリース見ればわかる通り、重水素or三重水素を集めるのはリップサービスで、本来の目的は半導体プロセスの改良ですよ。
半導体プロセスの中で、MOSチャネルの高品質化のために水素アニールという工程があるのですが、そこで今回の手法で重水素を選択的に使えればもっと安く高品質になりますよと。
何がうれしいかというと、通常の水素で行うよりトランジスタの長期信頼性が改善したり、ばらつきが減ったり、1/fノイズが減ったりします。
ウエハサイズでも実現できれば、普通に実用化が見えるんじゃないですかね。