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ガラスを使った立体回路半導体」記事へのコメント

  • どうなのでしょうね?
    ガラスの中の3次元空間の中に、P型/N型も作れたとありますけど、
    やはり酸化膜も作れないとMOS-FETができないでしょうし、0.18ミクロンみたいな
    配線密度はこの方法でできるのでしょうか? (専門の方のコメント希望)

    密度を上げるのに時間はかか
    • そもそもこのデバイスの量産方法ってどうなるんでしょう?
      今のLSIは2次元だからパターン作って焼き付けしてエッチング。
      というプロセスで量産出来ますけど、
      3次元回路を量産する方法について識者の方、ご教授願います。
      --
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