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周辺住民が頭痛や吐き気、のどの痛み、重度のせきなどを訴えた。現場にいた作業員ら（23人）は全員死亡したとのこと。
えー…この濃度のフッ酸ってとてもやばくない？というか、フッ酸で自覚症状が出るって相当量浴びてるのでは？というかこれで水道システム（むしろ水源）に影響が出てないほうがおかしいような…# 口蹄疫 [maff.go.jp]といい
フッ酸（フッ化水素）がどんなニオイか興味あるひとは、国道一号線の新富士川橋を静岡市側へ渡ってちょっと行ったところにあるアルミ精錬工場の近くに行ってみそw独特のニオイが漂ってるぜww# アルミの電解に副原料としてフッ素化合物を使ってるので
今はホントごく微量しか出てないと思うけど、かつては漏れたフッ素の影響で近隣のミカン畑が枯れるとかの被害があったんだぜw
液体のフッ酸は、半導体の前工程（ウェハプロセス）で大量に使います。シリコン酸化膜を溶かすので、洗浄やウェットエッチングなんかに使うわけです。そんなわけで、クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、と厳しく教育されます。避難訓練の時には、配管の下を避けろ、ってのもあったな。
新人研修で半導体工場に行ったときに、フッ酸でジャブジャブ、ウェハを洗ったことがあります。
今の工場だと自動搬送機でやるんでしょうけれど、そこは旧式の小さい工場だったので、専用の手袋をして、ウェハが25枚とか差さっているフォルダに取っ手を付けて、目の前のフッ酸槽に一定時間沈め、時間が経ったら隣の純水槽に移すなんてことをやるんです。フッ酸槽も純水槽もポンプで撹拌していたかな。
実習前に、フッ酸に触れると骨まで伝わり、切断しない限り激痛があるから充分注意するように、と説明されました。
大学ですが、ふつうにそんなふうにやってますよ。
むしろ、50cc～200cc程度のビーカー（もちろんテフロン製）に希フッ酸を入れて、数mm～数cm角程度のサンプルをピンセットで入れてしゃぶしゃぶとか。
希フッ酸を作るのがもっとこわい。1kg入りのフッ酸ボトル（片手でぎりぎり持てるか持てないかくらいの大きさ）から10ccのメスシリンダーにフッ酸を入れるとか。
＞クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、～
あ、俺も「透明な液体を見たら（水ではなく）フッ酸だと思え」と教えられた実際にラインでエッチングに使ってたのはピンク色の緩衝フッ酸だったんだけどね
＞避難訓練の時には、配管の下を避けろ、ってのもあったな。
無塵衣着たままで良いからすぐクリーンルームから出て避難しろ、コンタミネーションより自分の命が大事とも教えられた担当者でも無い素人は機器停止や消火作業などをするなというのもあった
> クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、> と厳しく教育されます。
みなさん、なにげなく、薬品がついたかもしれない手であちこち触りまくりますからね。着替えのタイミングなんかに体につくかもしれないと思うとこわいです。MEMS系とかのラフなクリーンルームだと、クリーンルーム内で、手袋をした手で顔に触れたりする人もいるし。
クリーンルーム管理者としては、正体不明の透明の液体を見たときにいちばん面倒なのはフッ酸よりも濃硫酸です。拭き取った瞬間、燃えるかもしれないし。フッ酸は弱酸だから、蒸気を吸ったり体に触れたりさえしなければ大丈夫。
化学系とか生物系の実験室だともっとこわいものがごろごろしてると思うけど。# 化学系はミリグラムで死ぬ、生物系はマイクログラムで死ぬと言われます。
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にわかな奴ほど語りたがる -- あるハッカー
フッ酸とフッ素は違う、でも毒性は一緒 (スコア:2)
えー…この濃度のフッ酸ってとてもやばくない？というか、フッ酸で自覚症状が出るって相当量浴びてるのでは？
というかこれで水道システム（むしろ水源）に影響が出てないほうがおかしいような…
# 口蹄疫 [maff.go.jp]といい
ちなみに (スコア:1)
フッ酸（フッ化水素）がどんなニオイか興味あるひとは、
国道一号線の新富士川橋を静岡市側へ渡ってちょっと行ったところにある
アルミ精錬工場の近くに行ってみそw
独特のニオイが漂ってるぜww
# アルミの電解に副原料としてフッ素化合物を使ってるので
今はホントごく微量しか出てないと思うけど、かつては漏れたフッ素の影響で
近隣のミカン畑が枯れるとかの被害があったんだぜw
Re:ちなみに (スコア:5, 参考になる)
液体のフッ酸は、半導体の前工程（ウェハプロセス）で大量に使います。
シリコン酸化膜を溶かすので、洗浄やウェットエッチングなんかに使うわけです。
そんなわけで、クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、
と厳しく教育されます。
避難訓練の時には、配管の下を避けろ、ってのもあったな。
Re:ちなみに (スコア:2, 興味深い)
新人研修で半導体工場に行ったときに、フッ酸でジャブジャブ、ウェハを洗ったことがあります。
今の工場だと自動搬送機でやるんでしょうけれど、そこは旧式の小さい工場だったので、
専用の手袋をして、ウェハが25枚とか差さっているフォルダに取っ手を付けて、
目の前のフッ酸槽に一定時間沈め、時間が経ったら隣の純水槽に移すなんてことをやるんです。
フッ酸槽も純水槽もポンプで撹拌していたかな。
実習前に、フッ酸に触れると骨まで伝わり、切断しない限り激痛があるから充分注意するように、と説明されました。
Re: (スコア:0)
大学ですが、ふつうにそんなふうにやってますよ。
むしろ、50cc～200cc程度のビーカー（もちろんテフロン製）に希フッ酸を入れて、
数mm～数cm角程度のサンプルをピンセットで入れてしゃぶしゃぶとか。
希フッ酸を作るのがもっとこわい。1kg入りのフッ酸ボトル（片手でぎりぎり
持てるか持てないかくらいの大きさ）から10ccのメスシリンダーにフッ酸を入れるとか。
Re: (スコア:0)
＞クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、～
あ、俺も「透明な液体を見たら（水ではなく）フッ酸だと思え」と教えられた
実際にラインでエッチングに使ってたのはピンク色の緩衝フッ酸だったんだけどね
＞避難訓練の時には、配管の下を避けろ、ってのもあったな。
無塵衣着たままで良いからすぐクリーンルームから出て避難しろ、コンタミネーションより自分の命が大事とも教えられた
担当者でも無い素人は機器停止や消火作業などをするなというのもあった
Re: (スコア:0)
> クリーンルームに出入りする者は、「水」を見かけても絶対に触れてはいけない、
> と厳しく教育されます。
みなさん、なにげなく、薬品がついたかもしれない手であちこち触りまくりますからね。
着替えのタイミングなんかに体につくかもしれないと思うとこわいです。
MEMS系とかのラフなクリーンルームだと、クリーンルーム内で、手袋をした手で顔に触れたりする人もいるし。
クリーンルーム管理者としては、正体不明の透明の液体を見たときにいちばん面倒なのはフッ酸よりも濃硫酸です。
拭き取った瞬間、燃えるかもしれないし。
フッ酸は弱酸だから、蒸気を吸ったり体に触れたりさえしなければ大丈夫。
化学系とか生物系の実験室だともっとこわいものがごろごろしてると思うけど。
# 化学系はミリグラムで死ぬ、生物系はマイクログラムで死ぬと言われます。