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CVD炉がどういうものか想像しづらい。廃棄に数億円掛かるらしいので相当大掛かりな設備ではあるんだろうけど
CVDといっても種々あるのですがその名もずばり生成する膜の主原料が気化した状態で供給されるのが共通点ですね。Chemical Vapor Deposition(化学気相成長)
炉といってるのでレーザCVDや光CVD以外だとは思いますけど‥
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物事のやり方は一つではない -- Perlな人
裁判内容はともかく (スコア:0)
CVD炉がどういうものか想像しづらい。
廃棄に数億円掛かるらしいので相当大掛かりな設備ではあるんだろうけど
Re:裁判内容はともかく (スコア:0)
CVDといっても種々あるのですが
その名もずばり生成する膜の主原料が気化した状態で供給されるのが共通点ですね。
Chemical Vapor Deposition(化学気相成長)
炉といってるのでレーザCVDや光CVD以外だとは思いますけど‥