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レーザー光がMEMSマイクの振動板(ダイアフラム)を直接揺らしているのでしょうか？あるいは光電変換の様な現象により、MEMSマイクとしては意図していない所で電気信号が発生しているのでしょうか？本筋とは少し離れるかもしれませんが興味があります。
リンクされてる記事には「光に反応する」程度にしか書かれておらず、良く分かりませんでした。(論文は未読です)
光音響効果とか。光→熱→空気膨張→音ということらしい。グラハム・ベルの時代からあったものなんだそう。https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%85%89%E9%9F%B3%E9%9F%BF%E5%8A%B9%E6%9E%9C [wikipedia.org]
情報ありがとうございます。
頂いた情報を念頭に置きつつ論文を読んでみたら、6ページ目の末尾ぐらいから始まる「C. Mechanical or Electrical Transduction?」という項で言及されてました。
結論としては光電効果の類ではなくて、ダイアフラムが機械的に動くことに起因するもの、ということです。
光学的な面での実験条件はいじらずに、MEMSマイクの機械的な特性を変化させていく(MEMSマイクを覆っているパッケージを取り除く => さらにダイアフラムに接着剤を塗りつける)と、出力電圧が小さくなっていくので、光電効果ではなくて機械的な動きによるものと判断しています。
ということはコンデンサマイクにも同様の問題があると
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MEMSマイクが光に反応というのは具体的にどういう意味合いなんでしょうか？ (スコア:0)
レーザー光がMEMSマイクの振動板(ダイアフラム)を直接揺らしているのでしょうか？
あるいは光電変換の様な現象により、MEMSマイクとしては意図していない所で電気信号が発生しているのでしょうか？
本筋とは少し離れるかもしれませんが興味があります。
リンクされてる記事には「光に反応する」程度にしか書かれておらず、良く分かりませんでした。
(論文は未読です)
Re: (スコア:0)
光音響効果とか。光→熱→空気膨張→音ということらしい。グラハム・ベルの時代からあったものなんだそう。
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%85%89%E9%9F%B3%E9%9F%BF%E5%8A%B9%E6%9E%9C [wikipedia.org]
Re:MEMSマイクが光に反応というのは具体的にどういう意味合いなんでしょうか？ (スコア:0)
情報ありがとうございます。
頂いた情報を念頭に置きつつ論文を読んでみたら、
6ページ目の末尾ぐらいから始まる「C. Mechanical or Electrical Transduction?」という項で言及されてました。
結論としては光電効果の類ではなくて、ダイアフラムが機械的に動くことに起因するもの、ということです。
光学的な面での実験条件はいじらずに、MEMSマイクの機械的な特性を変化させていく
(MEMSマイクを覆っているパッケージを取り除く => さらにダイアフラムに接着剤を塗りつける)と、
出力電圧が小さくなっていくので、光電効果ではなくて機械的な動きによるものと判断しています。
Re: (スコア:0)
ということはコンデンサマイクにも同様の問題があると