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文科省が次世代半導体の概算要求に最大10億、同じく総務省は20億円を要求へ」記事へのコメント

  • by Anonymous Coward

    10億、20億で半導体の開発の分野で何ができると思ってるんだ。
    旧式の露光装置1台やっと買えるくらいだぞ。EUVとかだと桁が1つ足りん。

    • by Anonymous Coward

      >旧式の露光装置
      それって、まだ作ってるの?i-lineとかのステッパーだよね?

      • by Anonymous Coward on 2021年08月31日 10時11分 (#4102511)

        全行程EUVやArFで露光するわけじゃないんだよ
        大きいパターンを露光するときはKrFどころかi線も現役だぞ
        #さすがにg線は聞いた事無いけど

        親コメント

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