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ハードウェア

フレキシブル基板上への超微細回路作成の新手法が開発される

タレコミ by Anonymous Coward
あるAnonymous Coward 曰く、
産総研プレスリリース
産総研:超微細回路を簡便・高速・大面積に印刷できる新原理の印刷技術を開発

産業技術総合研究所、東京大学、山形大学、田中貴金属工業株式会社が共同で微細な電子回路を作成するための銀ナノインクによる新たな印刷技術「スーパーナップ(SuPR-NaP;表面光反応性ナノメタル印刷)法」を開発した。これによりプラスチック基盤にも超微細回路の印刷が可能になり、フレキシブルなタッチパネルセンサーの実用化も予定されている。
線幅は0.8マイクロメートルのものが得られており、これはスクリーン印刷やインクジェット印刷より数十倍の高細度としている。また作成時に真空環境は必要ではなく高温処理しなくてもよいことなども利点のようだ。

簡単にこの手法の概略を説明すると、まずフッ素系ポリマーの薄層にフォトマスクを通して紫外線を照射することで、表面に化学的反応性の高いパターンが形成される。そこに銀ナノインクで濡らした板で掃引すると(プレスリリース内の動画参照)、パターン部分にだけ銀ナノインクが吸着する。銀ナノインクは銀ナノ粒子は表面がアルキルアミンで覆われているが、乾燥することで粒子同士が凝集、融着する。これにより銀配線が形成して十分高い導電性を示すようである。

発表論文
Nanoparticle chemisorption printing technique for conductive silver patterning with submicron resolution : Nature Communications : Nature Publishing Group
こちらのページの下の方にある「Supplementary Movie 2」に試作品と思わるものの動画がある。

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