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Francisの日記: ダイヤモンド萌え5倍速

日記 by Francis

http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2007/pr20070320/pr20070320.html

産総研ダイヤモンド研究センターは、大型単結晶ダイヤモンドウェハの実現を目指し、2003年からマイクロ波プラズマCVD法による大型単結晶ダイヤモンドの合成に関する研究を進め、これまでにも1カラットの単結晶ダイヤモンドの合成に成功してきた。
 この研究をさらに進め、表面温度を1200℃付近で精密に制御し、反応ガスへの窒素の混入量を正確に制御することで方位が異なる異常結晶の成長を抑制できることを発見した。さらに、ダイヤモンド結晶の成長条件を最適化することで、従来の5倍以上(毎時50μm)の高速合成を可能にした。今回、結晶表面処理とエッチングによって種結晶とその上に成長したダイヤモンドとを加工ロスなしに分離する「ダイレクトウェハ化技術」の開発に成功し、板状の大型単結晶ダイヤモンドの量産が可能になった。

すげえええ。
作れる面積も10倍で5倍速成長だから50倍だよ。でも毎時50マイクロメートルじゃ100時間でもたった5ミリかあ。まだまだエレクトロニクス以外には使えそうもないなあ。
液晶テレビの前面が全部ダイヤモンドとかアタマオカシイ事態に早くなってくれないかなw

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