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KAMUIの日記: ISAS、太陽電池用基板の新たな品質評価法を開発。 9

日記 by KAMUI
JAXA のプレスリリース宇宙ニュースの記事などに依ると、宇宙科学研究本部(ISAS)が太陽電池に用いられる「多結晶シリコン基板」の新しい評価法の開発に成功したそうだ。
従来は基板 1枚の品質を確認するのに20分程度の時間が必要だったが『弗酸水溶液浸フォトルミネッセンスイメージング法』と命名された新評価法を使うと、僅か 1秒以下の時間で済むとの事。新評価法は従来の方法と比べて・・・
  • 非破壊・非接触
  • 超高速・高分解能
  • 装置が非常に簡便
  • 製造プロセスと同時に測定が可能なので製造ラインに組込み可能

と言った特徴があり、生産性の向上や高効率化に伴うコストダウンが期待出来ると言う。因みに「特許出願中」だそうで・・・これを使うトコが出れば、宇宙開発資金に多少でも余裕が出来るんでしょうかね?(笑)

#部門名「予算が無いから自分で稼ぐ」とか。

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  • by itinoe (972) on 2007年04月07日 3時02分 (#1138759) 日記
    特許による収入よりも「特許と認められる成果を出すこと」が重要なのです・・・・

    埼大のヒートナイフとか見ているとやっぱそうなんだろうなあ
    --
    見たような聞いたような・・・
    itinoe
  • by Anonymous Coward on 2007年04月07日 9時10分 (#1138805)
    通常の製造ラインで使えるような代物なんでしょうか。なんか怖いって印象があるのですが‥‥‥。
    # 文系なのでAC
    • by oddmake (1445) on 2007年04月07日 9時50分 (#1138815) 日記
      >怖いって印象
      「フッ化水素酸(弗酸)は常識の通じない最凶の酸だから気をつけろよ(大意)」みたいなことを学生時代の実験の時に言われてたことを思い出しました。
      化学系は怖い。

      昔はとても危険でさらに怖い物質だったようですね。
      アジモフのエッセイであったのですが、弗素研究のために弗化水素を扱っていた化学者はバタバタと死んでいるそうで。
      工業的に安全かつ大量にフッ素や弗酸を用いる技術は第二次大戦の頃に発達したとか。
      ウランの精製に必要な技術であったためだというのですね。

      最近は適切な器具と技術があれば安全に使えるようになったと思いますが。
      というか半導体製造にも弗酸技術が必要なので、製造工程に組み込むには問題ないと思います。
      --
      /.configure;oddmake;oddmake install
      親コメント
      • >>というか半導体製造にも弗酸技術が必要なので、製造工程に組み込むには問題ないと思います。

        今時しょっちゅうライフタイム測定が必要なほど汚染されたシリコンウェハー製造ライン・半導体製造ラインはありませんよ
    • Re:弗酸って (スコア:2, 参考になる)

      by Anonymous Coward on 2007年04月07日 10時31分 (#1138821)
      シリコンを電子材料として使うところでは、絶対に必要です。
      太陽電池もそうですし、半導体産業では必ず使ってます。

      シリコンは大気中に置いておくと表面がうっすらと酸化します。
      それはわずか数nm程度の厚さですが、シリコンの酸化物といえば
      つまりガラス(石英)なわけで、そんな絶縁物は除去してしまわないと
      電気がうまく流れてくれません。

      それを除去するには、ガラスをも溶かすフッ酸しかありません。
      シリコンの表面の汚れを除去するには、わざと表面を酸化して
      それを除去するなんてことも行います。

      半導体産業ではもっと怖い化学物質もいっぱい使ってますよ。
      親コメント
      • by Anonymous Coward
        石英(無色透明な結晶を水晶とも言う)はガラスでしたっけ?

        # 水晶も弗酸にしか溶けないというのであれば、目くじらたてることもないか
        # なのでAC
        • by tiamo (31312) on 2007年04月07日 15時16分 (#1138922)
          ケイ酸塩のガラスが一般に言われるガラスだが、石英でできたものも普通にガラスと呼ばれる。
          また、どんなものでもガラス状態になれば○○ガラスと言うようだ。
          親コメント
        • Re:弗酸って (スコア:1, 参考になる)

          by Anonymous Coward on 2007年04月08日 16時39分 (#1139260)
          石英とかガラスとか水晶の違いはいろいろあるけど、その違いは基本的には結晶構造の違いに由来するの。結晶構造が違うと溶け方も違ってくるけど、溶けるか溶けないかという点では皆同じなの。
          だからそれを溶かす水晶のエッチングのプロセスはフッ酸メインの混酸になります。

          そういう点では水晶もシリコン酸化膜も根っこは同じ。
          ただ酸化してないバルクのシリコンはフッ酸には安定だからシリコンエッチするときは酸化→エッチングというプロセスになるので元ACさんの言うように酸化剤とフッ酸の混酸になるのよ。

          水晶は他にはアルカリにも溶けますけど通常の条件だと非常に溶けにくい(パイレックスビーカーにアルカリ入れても溶けないでしょ?)ので加圧加熱条件下で用いることがあります。水熱合成法とかでぐぐると見つかるかも。

          レアかもしれない水晶業界のACが釣られました。
          親コメント
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UNIXはただ死んだだけでなく、本当にひどい臭いを放ち始めている -- あるソフトウェアエンジニア

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