LARTHの日記: サムスンのDRAM特化工場は200mm 5
日記 by
LARTH
Samsung Faces Factory Contamination
サムスンのDRAM特化工場(1区画か?)が丸ごと汚染されたって話。
200mmでも下開きPODとか使ってる普通の工場だったらここまでのことにはならなかったと思うんだけど、流れ作業になるんだったら機器間搬送の簡略化でオープンカセットのままってのも考えられなくはない。で、工場内のウエハ全部が汚染されちゃったのかも。
という妄想は置いといて、実態は使用頻度の高い機器の汚染が知らないうちにウエハを媒介にして広がっていったんだとは思う。でも工場全体に広がる程の汚染源になるってのはなぁ。途中の検査を間引き過ぎて最後まで分からなかったとかかなぁ。
半導体工場のライン (スコア:0)
工場丸ごとというより1ラインじゃないかな、と思うけど。
#知ってそうな知人はいるけど怖くて聞けない。
#いろんなところにいろんな無理難題が出されてるんだろうなぁ。関わってる人、ご愁傷さまです。
HEPAフィルター (スコア:0)
を通さずに空気循環させたのでは?
地味に通関で引っかかっている品目の様で…。
何かがおかしい (スコア:0)
1xnm世代で200mmウエハなんて工場は存在しないと思うんだけど。
300mmウエハなら工場全体とウエハは分離されてるし、どこかで話が混ざってるのではないかな。
Re:何かがおかしい (スコア:2)
サムスンは製造機器を子会社で自社開発してますから出来ないことは無いかと。
フォトリソ機器をがネックだとは思いますが。
Re: (スコア:0)
サムスンが製造装置を作ってると言ったって、ほんの一部のみですよ。
https://eetimes.jp/ee/articles/1808/08/news009_2.html [eetimes.jp]
ここは汎用ロジックの装置シェアだけどDRAMでも同様。韓国の出番はない。
自社で1xnm世代の製造装置を全部200nm向けに用意するのは無理。
そりゃサムスンの規模なら、200mmウエハ用に製造装置の会社に特注で作らせることは技術的にはできる。
でも、できるかどうかと経済合理性が無いのにやるかどうか(そんな投資を株主が許すかどうか)は別でしょう。