gm300の日記: 巨大チップ 48mm×36mm 1
日記 by
gm300
これってもしかして、ものすごい巨大 chip?
ccd の素子は単一チップなのであろうか。それとも貼り合せであろうか。4枚張り合わせでもすごいサイズだな。素子の欠陥はないのであろうか。少しくらいあっても普通の方法では見つからないので、補正かけて隠しているのだろうか。なんとなくトーンの変化が変なのでCCD良く見たら亀裂が入っていたとかありそう。
その点から見ると若干の欠損よりも、全体的な感度のばらつきのほうが問題になりそうだ。単純に平均を取るというような手法は使えない。標準パターンを使って補正するのだろう。それでも、高温時と低温時、明るいときと暗い時、調整はたいへんそうだ。
多分 (スコア:1)
今時のウェファは20〜30cmの直径がありますので、この程度ならチップの張り合わせをせずとも、一枚のウェファから何個ものチップを取り出すことが可能です。
ただし、露光機の方はAPS-Cサイズが一度に焼ける限度と言う話なので、一つのチップを複数回に分けて露光しているはずです。
素子の欠損や感度のばらつきについても、補正のノウハウが色々あるようですが、あまり表には出てこないようですね。