m-hashの日記: 5/1
日記 by
m-hash
5/1(木)
研究室に泊まりだった。椅子を2つ並べてその上に寝た。
この時期にしてはかなり寒かった。
最近よく泊まってる。いつも椅子の上だが。
9時半、E社の方が来所。ECRセルをつけかえる。
プラズマの状態はかなり良好。
チューナー無しでもプラズマが立つし、スイッチを
押すだけで立つ。
コネクト部もあまり熱を持たないし、
ガスをon/offしたときの反射の差もまずまず大きい。
(9W->34Wぐらいだったか)
昼からサファイア基板を成長室に入れてN化のチェック。
こちらはかなりてこずった。
N2ガスの流量が1SCCM付近ではどの温度(400°C-800°C)
でも変化無し。しかし流量を2.5SCCMまで増やすと、
500°Cで新しい透過スポットが見え始めた。
なんとかN化も出来る模様である。
そうこうしているうちに夕方に。
今日は研究室OBのP君に会う予定だったので、18時前には
N田君とともに研究室を後にする。
P君に刺身をごちそうになる。ごちそうさまでした。
ありがとう。
23時。研究室にもどる。
書類書き。今日も泊まりだ。
研究室に泊まりだった。椅子を2つ並べてその上に寝た。
この時期にしてはかなり寒かった。
最近よく泊まってる。いつも椅子の上だが。
9時半、E社の方が来所。ECRセルをつけかえる。
プラズマの状態はかなり良好。
チューナー無しでもプラズマが立つし、スイッチを
押すだけで立つ。
コネクト部もあまり熱を持たないし、
ガスをon/offしたときの反射の差もまずまず大きい。
(9W->34Wぐらいだったか)
昼からサファイア基板を成長室に入れてN化のチェック。
こちらはかなりてこずった。
N2ガスの流量が1SCCM付近ではどの温度(400°C-800°C)
でも変化無し。しかし流量を2.5SCCMまで増やすと、
500°Cで新しい透過スポットが見え始めた。
なんとかN化も出来る模様である。
そうこうしているうちに夕方に。
今日は研究室OBのP君に会う予定だったので、18時前には
N田君とともに研究室を後にする。
P君に刺身をごちそうになる。ごちそうさまでした。
ありがとう。
23時。研究室にもどる。
書類書き。今日も泊まりだ。
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