ozumaの日記: Nitridation
日記 by
ozuma
T大からいらした先生とゾヌチームでDiscussionを持ったのだけど、わざわざ遠くから先生がいらしているのにそんなことを今言う必要無いだろうお前、という感じのMeetingだったため萎えた
JAPの論文(Journal of Applied Physics, 85, 3, pp.1550, 1999)を読んでいたらサファイアのNitridation時にoxygenとnitrogenの置換はtemperature independentだと書かれていたのにちょっと驚いた そう断言して良いものだろうか
サファイアの表面をNitridation(窒化)するのは、サファイア表面をAl_{2}O_{3}からAlNにする、つまり酸素を窒素に置換するために行う 一般にこの温度は400-500度くらいで行うが、200度で行って良い結果を得たらしい
先の論文だと温度が高い状態ではcubicなAlNが生成されるのが原因でよろしくないらしく(wurziteなAlNを作ろうとしている)、OとNの置換自体は問題無く行われているらしい 前々から何も考えず窒化するんなら高温でバーっとやっちゃえばOが飛んでNが入るだろうからいいじゃん、と思っていたのだけどこういう理由だったのね ってか関係ないけどウチもあんなに綺麗にRHEED撮りたいね
しかし200度ってのはいくらなんでも低すぎな気がしないことも無いのだけど90分もやるならそんなもんか? ただウチとはnitrogenのプラズマソースも違うわけだし単純に比較できんかもしれんけど Nも0.3-0.6sccmってなってるし
Nitridation More ログイン