ozumaの日記: 昼飯はオニギリ
日記 by
ozuma
昼、某所でMeeting。ちょっと手際悪かったか
M田先生が結婚した、というのは事実であったことを確認
ECRプラズマは死んでいた。今年の応用物理学会の予稿〆切は6/8なわけで、もはや私の出席は絶望的と思われる
だって、作りたいものを作るのに苦労しているとかそういうレベルじゃなくて、その下地というか準備に使う窒化アルミニウムをまだ一度もマトモに作ったことが無いのだ。研究職に就職活動しなくて良かった。私は学部時代には論文はもちろんのこと学会に行ったことすら無かったし(まぁ理論系のB4だとそれが普通だけど)、こっち来ても一切発表していない。これだと就職活動は苦労したことだろう
EPMA[1]でパイレックスガラスに付いていた黒い粉みたいな成分を測定すると、InとPが大量に。基板マウントの糊として使うInは分かるにしても、Pは元々このチャンバーに付着していたものであり、我々は一切使っていないのだ。何か不条理を感じる
[1]EPMA(Electron Probe Micro Analyzer):物質の微小領域に電子線をブチ当て、放出される特性X線を観測して構成元素とその比率を測定する装置。特性X線は元素固有の物のため、これを格納されたデータベースと比較して構成元素が同定できる。
AlとAlNの判定のために、先日の基板にテスターを当てたら、針の先っぽが触れると乗っていた膜らしき物がボロボロと取れた。謎だ。抵抗は無茶苦茶高かったからAl単体では無いようなのだけど
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