ozumaの日記： 高温で成長

10/23

朝、某社の人にPC-VS16Cを売りつける。MMX Pentium/166MHzだけど、ディスプレイとセットだし、メンテ代も込みと考えればこんなものか

成長実験をする。今日は相変わらず、下地のAlN(窒化アルミニウム)を積む
今回は基板温度を高めにしてやってみる

一枚目、Alのfluxを絞った状態から少しずつ増やしていく。Alセル温度が1160度くらいでRHEEDが消えたので、この辺か

2枚目、温度を上げる途中でサンプルが落下した。やたらと落下する。後輩Mの貼り方がイマイチなのか、他の原因なのか

3枚目、RHEEDがやたらと綺麗なストリークパターンを示す。こんなに上手く行くはず無い、とか思いながらもパターンは変わらずに終了できた

うーむ。あっさり上手く行ってしまった。前に高温でやった時には大して上手く行かなかったのだが……何が原因なのやら

23:00頃、N田君達がやってくる。なんと今から実験をするらしい。スゲェ。チャンバー交代して、24時に帰宅。