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水に沈めてるのか,それとも光学系全体を水に沈めてるのか,どっちなんだろ. ウェハー側だけを水に沈めるのは,水面の制御が難しいような気も.
水中では光速が低くなるので,同じ振動数のランプを使用しても波長が短くなり,解像度は高くなる. というわけで,系全体が水没というのもあるのかも.
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コンピュータは旧約聖書の神に似ている、規則は多く、慈悲は無い -- Joseph Campbell
シリコンウェハー側だけを (スコア:1)
水に沈めてるのか,それとも光学系全体を水に沈めてるのか,どっちなんだろ. ウェハー側だけを水に沈めるのは,水面の制御が難しいような気も.
水中では光速が低くなるので,同じ振動数のランプを使用しても波長が短くなり,解像度は高くなる. というわけで,系全体が水没というのもあるのかも.
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:1)
コストは高くなりそうな。
-- To be sincere...
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)
ただ均熱やパーティクルの問題の解決にもなりそうな。
…どうやらただの液浸らしいですが。
装置全体を水没させるとハンドリングが大変そう。
水中でウエーハを表裏ひっくり返すの考えたら気持ち悪くなりますよね。
Re:シリコンウェハー側だけを (スコア:0)