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あつくて寝られない時はhackしろ! 386BSD(98)はそうやってつくられましたよ? -- あるハッカー
顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:1)
タイプのは各社開発中では。
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:3, 参考になる)
ちょっと前まではF2レーザを用いたリソグラフィが次世代の技術として開発が進められていましたが、いくつかの開発アイテムの障壁が高く難航していたところへ、昨年、
IntelがF2リソグラフィを採用せず、ArFレーザ(とその液浸)その次としてEUVを用いると発表してから、業界がなだれをうったように液浸技術の適用へと方向を変えました。ASML、ニコン、キヤノンもこぞって対応機の開発を進めています。
液浸技術を適用した場合には、基本的にはステッパーのレンズ改善と流体系を装着する等の既存ArFステッパーの改造ですむため、開発、装置のコストが少ないというメリットがあります。
もちろん、水の制御(水温、泡)やレジストの溶出などの問題はありますが、現在では実用化にほぼ問題がないと考えられており、原理検証はほぼ完了して実機設計の段階です。液体は現在のところ純水ですが、将来的にはさらに高屈折率の液体も研究されることでしょう。
Re:顕微鏡観察でおなじみの液浸では? (スコア:1)
ISMT、ArF液浸技術の開発が加速と発表、量産検証段階に突入 [electronicjournal.co.jp]