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キャリアの量子力学的な作用が大きくなって隣のトランジスタに電子が飛び込むとか無いんですかね？
それより、狙った濃度でイオン注入できるんだろうか？
面積が小さすぎてイオンが当たらず、P型やN型に成れなかった部分が出てきそうだよね。
コンタクトホールを通して下にイオン注入できるんだから大丈夫だろ
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犯人はmoriwaka -- Anonymous Coward
ここまで小さいと (スコア:0)
キャリアの量子力学的な作用が大きくなって隣のトランジスタに電子が飛び込むとか無いんですかね？
Re:ここまで小さいと (スコア:0)
それより、狙った濃度でイオン注入できるんだろうか？
面積が小さすぎてイオンが当たらず、P型やN型に成れなかった部分が出てきそうだよね。
Re: (スコア:0)
コンタクトホールを通して下にイオン注入できるんだから大丈夫だろ