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半導体の露光装置の性能があがたりする？
あがらない。最新世代のEUVは、レンズではなく反射光学系なので影響なし。
もっと波長が短くなると、斜入射光学系じゃないと反射できなくなって、またX線レンズに回帰するのでは？http://www.asicon-tokyo.com/imt01.php [asicon-tokyo.com]
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アレゲはアレゲを呼ぶ -- ある傍観者
実用化するとなにができるの？ (スコア:0)
半導体の露光装置の性能があがたりする？
Re: (スコア:0)
あがらない。
最新世代のEUVは、レンズではなく反射光学系なので影響なし。
Re: (スコア:0)
もっと波長が短くなると、斜入射光学系じゃないと反射できなくなって、またX線レンズに回帰するのでは？
http://www.asicon-tokyo.com/imt01.php [asicon-tokyo.com]