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SamsungのDRAM工場でクリーンルーム汚染、200mmウェハ数百万ドルが廃棄される」記事へのコメント

  • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 12時15分 (#3716921)

    昔は部屋全体をクリーンにする方法が当たり前だったのだが、
    最近は、部屋全体はほどほどにクリーンにして、
    機器内部や搬送装置内部、搬送容器内部だけものすごくクリーンにして、それ以外はほどほどのクリーンさで
    済ますほうになった

    ウェハーは、搬送装置か搬送容器に入れて運ばれる

    • by Anonymous Coward on 2019年11月15日 13時22分 (#3716959)
      その通りですけど、今回の話は200mmのラインですよ。
      200mmでもSMIFがありますが、あまり普及していない印象です。
      少なくともサムスンでは、300mmに移行し始めた2000年代前半は、200mmはオープンカセットを使っていました。
      その後、新規導入装置は300mmでしょうから、200mmラインは既存装置をやりくりして使ってるものと想像します。
      なので、オープンカセットじゃないかなぁ。
      親コメント
      • by Anonymous Coward

        元記事に1xnm世代のDRAMと書いてあるから、それが本当なら200mmのラインはありえないけどね。
        そういうことも分からない記者が書いてるので、何がどこまで正しいのか不明。

        • by Anonymous Coward

          HBMとかHMCとか生産数が少ない特殊メモリなのでは?

          • by Anonymous Coward

            特殊なメモリと言ったってIOが違うだけで、DRAMのコア部分は一緒。
            1xnm世代のDRAMを製造しようと思ったら同じ製造装置が必要だし、それは300mmウエハ用しかない。

            • by Anonymous Coward

              300mm用の装置は少しばかりの改造、あるいはアダプタの使用で200mmのウエハは扱えますよ。300mm用のFOUPに200mmカセットのウエハを収納するアダプタとか移載専用装置とかあった。
              300mmの黎明期にはよくある話だったし、装置のライフサイクルは長いですから。

弘法筆を選ばず、アレゲはキーボードを選ぶ -- アレゲ研究家

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