「ムーアの法則を救うのは真空管かもしれない」記事へのコメント

HOTHARDWAREの斜め読み

[dyingdeer (31721)]

この技術のキモは、素子サイズを小さくして、熱電子放出ではなく電界電子放出（field electron emission）を利用すること。

すると、真空管の以下のデメリットを解消することができる。

• 電極を加熱しておかなければならないので、エネルギー効率が悪い
• 電子と気体分子の衝突を避けるために真空を維持する必要がある
• 電子と気体分子が衝突すると、分子がイオン化して電極を叩く。これにより電極が損耗または破壊される

なぜなら、

• 電界電子放出なので、加熱は必要ない
• 電極間隔を200nm程度以下にすると、大気圧下の電子の平均自由行程を下回るので、大気圧下でも利用可能
• 大気中ではなくヘリウム雰囲気中で使えば、ヘリウムのイオン化エネルギーより低いエネルギーで電子を飛ばせる。つまりガスのイオン化は無い

# キヤノンSEDの夢、ふたたび？

Re:HOTHARDWAREの斜め読み

[Anonymous Coward]

エアギャップを必要とするデバイスはプレーナー・プロセスと相性が悪い
微細化・高密度化したLSIで、空間を保ったまま素子に蓋をしてその上に配線を積み重ねるなんてやってられない
特殊用途のデバイスには良いかもしれないがメインストリームにはなれないだろう
＃電界電子放出型の高リニアリティ／低歪デバイスなんてオーディオマニア向けには良さそう

Re:

[Anonymous Coward]

そういえば、このあたりの技術 [srad.jp]はどうなったんだろう。

Re:

[Anonymous Coward]

集積度の低いMEMSデバイスなどでは普通に空洞作ったりしますが、ロジックデバイスで真空／エアギャップを使ったものが製品化されたという話はまだ聞かないですね
空間を作る一番簡単な方法は埋め込んだものを後からウェット・エッチで溶かしてしまうことですが、非常に微細化した構造は液体の表面張力で壊れたりするので難しいところがあります

Re:HOTHARDWAREの斜め読み

[Anonymous Coward]

>後からウェット・エッチで溶かして
この部分に何か反応した

Re:

[Anonymous Coward]

もう発表になってるから、もうすぐエアギャップ素子分離を採用した製品が出回るよ。
それもものすごく身近な素子に使われてる。